吴德馨，女，半导体器件和集成电路专家，1936年12月20日生于河北乐亭，中国科学院微电子中心研究员。1961年毕业于清华大学无线电电子工程系。1991年当选为中国科学院院士（学部委员）。1992年被国家科委聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。吴德馨院士从事砷化镓微波集成电路和光电模块的研究，曾获国家和中科院一等奖3项。
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