低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
欢迎使用别助学词语词典！我们专注于汉语词语、成语、近义词、反义词的查询与学习。词库丰富，查询快速，是您提升汉语水平的得力助手。如有任何问题，欢迎联系我们。